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半導(dǎo)體氣相沉積設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭

半導(dǎo)體氣相沉積設(shè)備，行業(yè)一般特指 CVD（化學(xué)氣相沉積）設(shè)備，是芯片制造薄膜沉積工序的核心裝備。騰旋此款氣相沉積設(shè)備用CVD設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭承擔(dān)靜態(tài)管路與旋轉(zhuǎn)晶圓基座之間的介質(zhì)傳輸任務(wù)，是真空腔體內(nèi)部載臺(tái)系統(tǒng)的核心密封部件。

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半導(dǎo)體氣相沉積設(shè)備，行業(yè)一般特指 CVD（化學(xué)氣相沉積）設(shè)備，是芯片制造 薄膜沉積工序的核心裝備。CVD設(shè)備用旋轉(zhuǎn)接頭承擔(dān)靜態(tài)管路與旋轉(zhuǎn)晶圓基座之間的介質(zhì)傳輸任務(wù)，是真空腔體內(nèi)部載臺(tái)系統(tǒng)的核心密封部件。

產(chǎn)品構(gòu)成 PRODUCT MIX

ML02R005F-A07

技術(shù)參數(shù) PARAMETERS

       轉(zhuǎn)速      
     200RPM        溫度
壓力
 0.5Mpa         適用介質(zhì)     
        水         


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