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半導體CMP晶圓拋光專用旋轉頭

發布時間：2026-03-13
騰旋CMP晶圓拋光專用旋轉頭
1.特點
1)低泄漏量，確保設備長時間吸附工件；
2)尺寸小，有利于降低客戶設備高度；
3)低啟動扭矩，設備啟動平穩；
4)發熱量低，可長期在封閉空間安裝；
5)模塊化設計，降低客戶采購成本；
壽命長，采用機械密封。

2.技術指標

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